sorter机是一个工厂材料传输设备,是一个与SEMI标准兼容的界面系统,可以手动或者配合AGV或OHT的承载水平传输晶圆。该系统提供单线接口供工厂控制,充裕的传输间距与工厂交互和简单的方式供人工服务。
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